銦、氧化銦錫及銦化合物暴露危害預(yù)防

主要用途

氧化銦錫（Indium Tin Oxide, ITO，或者摻錫氧化銦）是一種氧化銦（IIIA族，In2O3）和氧化錫（IVA族，SnO2）的混合物，通常質(zhì)量比為90% In2O3和10% SnO2。它在薄膜狀時(shí)，為透明無色。在粉或塊狀態(tài)時(shí)，它呈黃色。ITO主要用于制作液晶顯示器、平板顯示器、電漿顯示器、觸摸式顯示器、電子紙等應(yīng)用、有機(jī)發(fā)光二極管、以及太陽能電池、和抗靜電鍍膜還有EMI屏蔽的透明電傳導(dǎo)鍍膜。氧化銦錫薄膜通常是用電子束蒸發(fā)、物理氣相沉積、或者真空濺鍍的方法沉積到表面。銦的其他用途包括：車輛及飛機(jī)軸承、低溫合金和銲料、核子反應(yīng)器控制棒。

氧化銦錫粉塵危害

在日本有兩個(gè)因吸入氧化銦錫導(dǎo)致肺部疾?。?998及2002年，27歲及30歲男性）案例被報(bào)導(dǎo)，這兩個(gè)案例皆發(fā)生在同一家金屬處理工廠從事濕式表面研磨作業(yè)，此工廠生產(chǎn)制造薄膜半導(dǎo)體液晶顯示器（TFT-LCD）所需之氧化銦錫濺鍍靶（sputtering target），處理作業(yè)包括：混合氧化銦粉末和氧化錫粉末、粉碎、壓鑄、燒結(jié)、表面研磨、切割，其中粉碎、表面研磨、切割作業(yè)在濕式系統(tǒng)中進(jìn)行（如圖1-3）。

圖1 密閉濕式表面研磨

圖2 密閉濕式切割機(jī)臺(tái)

圖3 密閉濕式切割

這兩個(gè)案例皆因干咳、呼吸困難始就醫(yī)，經(jīng)系列診斷（血液、胸部計(jì)算機(jī)斷層攝影）發(fā)現(xiàn)肺部組織纖維化，這兩個(gè)案例病患血中銦濃度為290 μg/l和51 μg/l（男性常人平均值為0.1 μg/l），肺部有許多細(xì)微粒子，經(jīng)掃瞄式電子顯微鏡X-Ray光譜分析，這些粒子為銦和錫氧化物，因此判定為吸入氧化銦錫導(dǎo)致間質(zhì)性肺炎（interstitial pneumonia）。

在中國被報(bào)導(dǎo)銦中毒案例為一名任職于江蘇某生產(chǎn)手機(jī)液晶顯示熒幕的企業(yè)工人（28歲男性），工作內(nèi)容為把金屬粉噴在液晶熒幕模板上。該名工人因開始出現(xiàn)嚴(yán)重咳嗽、氣喘和持續(xù)發(fā)燒等癥狀就醫(yī)，轉(zhuǎn)入大型醫(yī)院進(jìn)行計(jì)算機(jī)斷層檢查，除發(fā)現(xiàn)其肺部布滿雪花狀的白色顆粒物，還發(fā)現(xiàn)其肺泡里有像牛奶般的乳白色液體。肺泡中的白色顆粒成分除氧化硅和氧化鋁外，還有重金屬元素「銦」，其血液中銦含量為常人的300倍，該員被診斷為銦中毒。

相關(guān)動(dòng)物實(shí)驗(yàn)研究發(fā)現(xiàn)銦、氧化銦錫及銦化合物會(huì)造成肺部及生殖系統(tǒng)傷害（1-10）。銦及其化合物（以銦計(jì)）PC-TWA: 0.1 mg/m3。PC-STEL:0.3mg/m3。

暴露途徑

在氧化銦錫濺鍍靶制造廠中，雖然表面研磨、切割作業(yè)是在密閉濕式系統(tǒng)中進(jìn)行，但噴濺在機(jī)器周圍含有氧化銦錫的液滴和廢水會(huì)蒸干，導(dǎo)致氧化銦錫粉塵懸浮于空氣中，因而吸入人體導(dǎo)致肺部疾病。

銦同時(shí)因?yàn)槠涞腿埸c(diǎn)（156.6℃），被用于濺鍍靶與背板黏著時(shí)的銲料，在高溫下會(huì)有銦金屬燻煙產(chǎn)生，若無適當(dāng)防護(hù)，會(huì)經(jīng)呼吸進(jìn)入人體。

氧化銦錫濺鍍靶回收廠和廢棄物回收廠（CRT和TFT-LCD熒幕含銦化合物），在粉碎氧化銦錫濺鍍靶或熒幕時(shí)，含銦化合物粉塵會(huì)經(jīng)呼吸進(jìn)入人體。

另外，TFT-LCD熒幕制造廠中使用氧化銦錫濺鍍靶多在密閉的機(jī)器中進(jìn)行，人員直接暴露的可能性并不高，但是在進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)（PM），維護(hù)人員進(jìn)行氧化銦錫濺鍍靶表面修整研磨作業(yè)（干式研磨）時(shí)，若無適當(dāng)個(gè)人防護(hù)，可能暴露氧化銦錫粉塵（如圖4）。

圖4 氧化銦錫濺鍍靶表面修整研磨

作業(yè)防護(hù)及注意事項(xiàng)

粉碎、研磨、切割及濺鍍靶與背板接著區(qū)須有足夠及適當(dāng)排氣設(shè)備。

粉碎、研磨、切割銦、氧化銦錫及銦化合物及及濺鍍靶與背板接著作業(yè)時(shí)，建議作業(yè)工人佩戴適當(dāng)防塵口罩，以免吸入銦、氧化銦錫及銦化合物微粒和燻煙。

使用適當(dāng)眼部及手部防護(hù)，以免粉塵微粒噴濺或接觸。

作業(yè)時(shí)應(yīng)著工作服或防塵服，回家前應(yīng)更換衣服，以免將粉塵帶回家，工作服或防塵服于工廠內(nèi)清洗。

請(qǐng)勿于工作現(xiàn)場放置飲水及食物，以免污染而誤食，并避免在工作場所飲食或休息。